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真空小常識

真空區域分劃
真空區域 壓強范圍
托(Torr) 帕(Pa)
低真空 760~10 101325~1333
中真空 10~10-3 1333~1.33~10-1
高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6
超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10
極高真空 <10-12 <10-10

抽氣速率單位換算表
單位 立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小時 立方英尺/分
1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88
1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119
1立方米/小時(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59
1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1

絕對溫度、攝氏、華氏溫度對照表
溫度形式 K(絕對溫度) ℃(攝氏)  °F(華氏)
K(絕對溫度) 1 ℃+273.15  5/9(°F+459.67) 
℃(攝氏) K-273.15  1 5/9(°F-32) 
°F(華氏)  9/5(K-459.67)  9/5(℃+32)  1

常用壓強單位換算表
帕 Pa 托 Torr 微米汞柱 μmHg  微巴 μbar 毫巴 mbar 大氣壓 atm  工程大氣壓 am  英寸 汞柱 inHg  磅/英寸2 lb/in2
1 Pa 1 7.5×10-3 7.5 10 10-2 9.86923×10-6 1.0197×105 2.953×10-4 1.450×10-4
1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.31579×10-3 1.3595×10-3  3.937×10-2 1.934×10-2
1 μmH 0.13332 10-3 1 1.3332 1.3332×10-3 1.31579×10-6 1.3595×10-6 3.937×10-5 1.934×10-5
1 μbar 10-1 7.5×10-4 7.5×10-4 1 10-3 9.86923×10-7 1.0197×10-6 2.953×10-5 1.450×10-5
1 mbar 102 7.5×10-1 7.5×102 103  1 9.86923×10-4 1.0197×10-3 2.953×10-2 1.450×10-2
1 atm 101325 760 760×103 1013.25×103 1013.25 1 1.0333  29.921 14.696 
1 am 98066.3  735.56 735.56×103  980663 980663×10-3 0.967839 1 28.959  14.223
1 inHg 3386 25.4 25.4×103  3.386×104 33.86 3.342×10-2 3.453×10-2 1 4.912×10-1
1 lb/in2 6895 51.715 51.715×103 6.895×104 68.95 6.805×10-2 7.031×10-2  2.086 1

真空泵的種類及其工作范圍
真空泵 工作范圍(托)  真空泵 工作范圍(托) 
旋片真空泵 760~5×10-4 往復真空泵 760~10-2
滑閥真空泵 760~5×10-2 吸附泵 760~10-4
油增壓泵 10-1~10-4 濺射離子泵 10-4~10-10
羅茨真空泵 10-1~10-4 鈦升華泵 10-3~10-10
油擴散泵 10-3~5×10-7 分子泵 10-3~10-10
水環真空泵 760~25 爪型干式泵 760~6×10-4

真空是什么

    真空是指給定空間內的氣體壓強小于該地區一個標準大氣壓的氣體狀態。真空是稀薄的氣體,與大氣相比它有一系列優點,例如氣體稀薄、氧氣少、環境清潔、沒有水氣、氣體分子密度小、各種氣體運動無阻礙等等。

    利用真空環境,可以實現真空鍍膜、真空輸送、真空脫氣、真空熔煉、抽除有害氣體、空間模擬以及化工、食品、醫藥、電機制造等工業的蒸餾、蒸發、干燥等等工業生產過程。由于上述的特點,在真空環境中進行某些工藝過程有著一些不可比擬的優點。

    在真空狀態下,氣體的稀薄程度通常用壓強值來表示,但在實際真空應用中,通常習慣用“壓力”來代替“壓強”作為氣體稀薄程度的表示,F代真空技術能獲得的氣體壓強為大氣壓至10-11Pa的真空。這是一個非常大的真空范圍,而且各個真空應用部門所涉及的工作壓強的范圍不盡相同,因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用,現今只能根據不同的工作壓強范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵來創造需要的真空環境。為了使用方便以及經濟性的要求,有時將各種真空泵按其性能要求結合起來,以真空機組形式出現。

    真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按工作原理,真空泵基本上分為氣體傳輸泵及氣體捕集泵兩種類:

    常用的氣體傳輸泵有:往復真空泵、無油渦旋真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑閥真空泵、液(水)環真空泵、羅茨真空泵、分子泵、噴射泵、擴散泵、油增壓泵、爪式真空泵等。

    常用的氣體捕集泵有:吸附泵、離子泵、低溫泵、吸氣劑泵等。


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